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除了EUV 中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机

时间:2021-03-03 22:46:42 | 来源:cnBeta

原标题:除了EUV 中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机 来源:上海证券报

今日中芯国际披露,公司于2月1日与阿斯麦(ASML)上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议,公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品(即光刻机)与阿斯麦集团签订购买单,订单金额12亿美元。阿斯麦(ASML)即荷兰阿斯麦,是全球最大的半导体设备制造商之一,主要业务为光刻机的研发和生产,在全球处于绝对领先地位。

具体来看,ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额;在EUV(极紫外)光刻机领域则处于绝对垄断地位,市场占有率100%。

众所周知,EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的设备。那么,中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机,包含EUV光刻机吗?记者从业内资深人士处了解到,除了EUV光刻机,中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机,包括DUV(深紫外)光刻机。

此前,ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示:如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义,ASML将能够从荷兰向中国客户(包括中芯国际)提供DUV光刻系统,且无需出口许可证。不过,如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统,ASML则需要为此申请出口许可证。

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